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基板

基板

独自の焼成技術と加工技術によるAlN基板

特徴

  • 熱伝導・熱放射率が大きく、放熱性が高い
  • Siにマッチした熱膨張係数を有する
  • 熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
  • 高電気絶縁性
  • 各種メタライズが可能

仕様

【外形寸法(最大)】 200 (mm)
【板厚寸法】0.25〜1(mm)
【表面粗度】Ra ≦ 0.8 (μm)
【レーザー加工】適宜対応可

特性

特性 Grade
FAN-170 FAN-200 FAN-230
熱伝導率 W/m・K(RT) 170 200 230
熱放射率 (100℃) 0.93
熱膨張係数 10-6/℃(RT〜400℃) 4.5
絶縁抵抗 Ω・ cm(RT) >1013
絶縁耐圧 kV/mm(RT) 15
誘電率 (1MHz) 8.8
誘電体損失 10-4(1MHz) 5
曲げ強度 MPa 350
密度 g/cm3 3.3
Y(イットリウム) wt% 3.4

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